(19)

(11)

EP 2 666 185 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.11.2013  Patentblatt  2013/48 (21) Anmeldenummer: 11700807.8 (22) Anmeldetag:  17.01.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/000173 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/097830 (26.07.2012 Gazette  2012/30)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (71) Anmelder: Ev Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: BURGGRAF, Jürgen AT-4780 Schärding (AT) (74) Vertreter: Becker, Thomas  Patentanwälte Becker & Müller Turmstrasse 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)