(19)
(11) EP 2 668 664 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.12.2013  Patentblatt  2013/49

(21) Anmeldenummer: 12709304.5

(22) Anmeldetag:  07.03.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/768(2006.01)
 H01L 23/48(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/053849
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/126725 (27.09.2012 Gazette  2012/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.03.2011 DE 102011005978

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HEDLER, Harry
    82110 Germering (DE)
  • SCHIEBER, Markus
    80469 München (DE)
  • WIRTH, Stefan
    91056 Erlangen (DE)
  • ZAPF, Jörg
    81927 München (DE)

   


(54) INTEGRIERTE SCHALTUNG MIT EINER ELEKTRISCHEN DURCHKONTAKTIERUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRISCHEN DURCHKONTAKTIERUNG