(19)

(11)

EP 2 671 251 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.09.2012 (43) Veröffentlichungstag: 11.12.2013  Patentblatt  2013/50 (21) Anmeldenummer: 12714202.4 (22) Anmeldetag:  30.01.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2012/000068 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/103868 (09.08.2012 Gazette  2012/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 02.02.2011 DE 102011010161 (71) Anmelder: Pac Tech - Packaging Technologies GmbH 14641 Nauen (DE)	(72) Erfinder: AZDASHT, Ghassem 13591 Berlin (DE) (74) Vertreter: advotec.  Patent- und Rechtsanwälte Beethovenstrasse 5 97080 Würzburg 97080 Würzburg (DE)