(19)

(11)

EP 2 676 294 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.12.2013  Patentblatt  2013/52 (21) Anmeldenummer: 12705793.3 (22) Anmeldetag:  17.02.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/10(2006.01) H01L 29/778(2006.01) H01L 29/20(2006.01) H01L 29/36(2006.01) H01L 29/872(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/000721 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/119701 (13.09.2012 Gazette  2012/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 17.02.2011 DE 102011011636 (71) Anmelder: MicroGaN GmbH 89081 Ulm (DE)	(72) Erfinder: SÖNMEZ, Ertugrul 89075 Ulm (DE) KUNZE, Mike 89250 Senden (DE) DAUMILLER, Ingo 88451 Dettingen (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR  Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13 80339 München 80339 München (DE)