(19)

(11)

EP 2 681 758 A1

(12)

(43) Date de publication: 08.01.2014  Bulletin  2014/02 (21) Numéro de dépôt: 12710765.4 (22) Date de dépôt:  27.02.2012

(51) Int. Cl.:  H01J 37/32(2006.01) C23C 14/34(2006.01) H01J 37/34(2006.01) C23C 14/35(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2012/000069 (87) Numéro de publication internationale: WO 2012/117171 (07.09.2012 Gazette  2012/36)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 01.03.2011 FR 1100614 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: QUESNEL, Etienne F-38240 Meylan (FR) MUFFATO, Viviane F-38450 Le Gua (FR) PAROLA, Stéphanie F-38350 La Mure (FR) (74) Mandataire: Talbot, Alexandre  Cabinet Hecké Europole 10, rue d'Arménie - BP 1537 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)