(19)
(11) EP 2 684 212 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.01.2014  Patentblatt  2014/03

(21) Anmeldenummer: 12709818.4

(22) Anmeldetag:  22.02.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/36(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/052993
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/119857 (13.09.2012 Gazette  2012/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 10.03.2011 EP 11157718

(71) Anmelder: Saint-Gobain Glass France
92400 Courbevoie (FR)

(72) Erfinder:
  • JOST, Stephan
    München 81543 (DE)
  • PALM, Jörg
    München 80797 (DE)

(74) Vertreter: Gebauer, Dieter Edmund 
Splanemann Patentanwälte Partnerschaft Rumfordstraße 7
80469 München
80469 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES PENTANÄREN VERBINDUNGSHALBLEITERS CZTSSE, SOWIE DÜNNSCHICHTSOLARZELLE