(19)

(11)

EP 2 686 460 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.01.2014  Patentblatt  2014/04 (21) Anmeldenummer: 12714242.0 (22) Anmeldetag:  15.03.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/12(2006.01) B05B 7/22(2006.01) C23C 8/36(2006.01) H05H 1/26(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/054530 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/123530 (20.09.2012 Gazette  2012/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 16.03.2011 DE 102011001312 12.04.2011 DE 102011001982 (71) Anmelder: Reinhausen Plasma GmbH 93057 Regensburg (DE) Eckart GmbH 91235 Hartenstein (DE)	(72) Erfinder: BISGES, Michael 93049 Regensburg (DE) WOLFRUM, Christian 91056 Erlangen (DE) GREB, Marco 63571 Gelnhausen (DE) RUPPRECHT, Markus 92265 Edelsfeld (DE) (74) Vertreter: Meister, Matthias  Reichert & Kollegen Bismarckplatz 8 93047 Regensburg 93047 Regensburg (DE)