(19)

(11)

EP 2 691 755 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.02.2014  Patentblatt  2014/06 (21) Anmeldenummer: 12704649.8 (22) Anmeldetag:  10.02.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01L 21/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2012/000038 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/129711 (04.10.2012 Gazette  2012/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 30.03.2011 CH 577112011 (71) Anmelder: Inficon GmbH 7310 Bad Ragaz (CH)	(72) Erfinder: WÄLCHLI, Urs CH-7000 Chur (CH) BERGER, Bruno CH-9469 Haag (CH) VOGEL, Daniel CH-9477 Trübbach (CH) (74) Vertreter: Rigling, Peter Daniel  Troesch Scheidegger Werner AG Schwäntenmos 14 8126 Zumikon 8126 Zumikon (CH)