(19)
(11) EP 2 699 707 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.02.2014  Patentblatt  2014/09

(21) Anmeldenummer: 12711603.6

(22) Anmeldetag:  16.03.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/14(2006.01)
C23C 14/58(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/054623
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/143186 (26.10.2012 Gazette  2012/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 21.04.2011 DE 102011002236

(71) Anmelder: Dritte Patentportfolio Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. KG
12529 Schoenefeld (DE)

(72) Erfinder:
  • STUTZMANN, Martin
    85435 Erding (DE)
  • ANTESBERGER, Tobias
    85132 Schernfeld (DE)

(74) Vertreter: Zech, Stefan Markus et al
Meissner, Bolte & Partner GbR Postfach 86 06 24
81633 München
81633 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER POLYKRISTALLINEN SCHICHT