(19)

(11)

EP 2 702 608 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.03.2014  Patentblatt  2014/10 (21) Anmeldenummer: 12718967.8 (22) Anmeldetag:  27.04.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/057765 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/146715 (01.11.2012 Gazette  2012/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.04.2011 DE 102011100098 29.08.2011 DE 102011081749 (71) Anmelder: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH 01324 Dresden (DE)	(72) Erfinder: GROSS, Harald 01465 Langebrück (DE) ZSCHIESCHANG, Erwin 01324 Dresden (DE) (74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner  Patentanwälte Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)