(19)

(11)

EP 2 702 609 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.03.2014  Patentblatt  2014/10 (21) Anmeldenummer: 12720130.9 (22) Anmeldetag:  26.04.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) B23K 26/40(2014.01) H01L 31/0224(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/057604 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/146634 (01.11.2012 Gazette  2012/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.04.2011 DE 102011075025 (71) Anmelder: Schmid Technology GmbH 68789 St. Leon-Rot (DE)	(72) Erfinder: SAUTER, Thomas 69151 Neckargemünd (DE) HOFMANN, Matthias 68789 St. Leon-Rot (DE) BUCHNER, Christian 72270 Baiersbronn (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)