(19)

(11)

EP 2 705 553 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.03.2014  Patentblatt  2014/11 (21) Anmeldenummer: 12732579.3 (22) Anmeldetag:  19.06.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 51/42(2006.01) H01L 27/30(2006.01) H01L 51/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/061724 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/175505 (27.12.2012 Gazette  2012/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 22.06.2011 DE 102011077961 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: AJURIA ARREGUI, Jon E-20550 Aretxabaleta, Gipuzkoa (ES) ARCA, Francesco I-09047 Selargius (IT) HAYDEN, Oliver 91074 Herzogenaurach (DE) SRAMEK, Maria 81549 München (DE) TEDDE, Sandro Francesco 91058 Erlangen (DE) ZOLI, Guido I-40026 Imola (IT)