(19)
(11) EP 2 707 896 A1

(12)

(43) Date de publication:
19.03.2014  Bulletin  2014/12

(21) Numéro de dépôt: 12725101.5

(22) Date de dépôt:  03.05.2012
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 21/428(2006.01)
 H01L 31/032(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2012/050994
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2012/153046 (15.11.2012 Gazette  2012/46)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 10.05.2011 FR 1154015

(71) Demandeurs:
  • Electricité de France
    75008 Paris (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • SAVIDAND, Grégory
    91400 Orsay (FR)
  • LINCOT, Daniel
    92160 Antony (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Plasseraud 
52, rue de la Victoire
75440 Paris Cedex 09
75440 Paris Cedex 09 (FR)

   


(54) TRAITEMENT THERMIQUE PAR INJECTION D'UN GAZ CALOPORTEUR.