[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Infrarot-Strahlungsquelle und ein Verfahren
zum Herstellen einer Infrarot-Strahlungsquelle.
[0002] NIR-Strahlung (NIR = near infrared) wird insbesondere zum Anstrahlen von unbewegten
oder bewegten Gegenständen sowie Bewegungsabläufen, vorzugsweise von Personen und
anderen Lebewesen, aber auch unbelebten Abläufen zwecks visueller und aparativer Beobachtung
mittels geeigneter Geräte, beispielsweise Kameras, Monitoren usw., zum Zwecke der
Steuerung, Ablaufveränderung und/oder Verhütung unerwünschter, ungenehmigter oder
strafbarer Handlungen durch Personen oder andere Lebewesen oder Vorrichtungen in ökonomischer
und für Lebewesen gesundheitlich unbedenklicher Weise benutzt. In diesem Zusammenhang
ist aus der
EP 1 548 798 B1 eine Metallhalogenidlampe bekannt, die NIR-Strahlung aussendet. Nachteilig an dieser
Lampe ist jedoch, dass zu ihrer Herstellung hochreaktive und teuere Rohstoffe verwendet
werden. Außerdem arbeitet eine derartige Strahlungsquelle bei einem hohen Druck, welcher
aufwändige Sicherungsmaßnahmen notwendig macht.
[0003] Aus der
US 5,837,478 A ist eine Niederdruckentladungslampe mit Glühkathoden bekannt, deren Füllung Quecksilber
umfasst und die NIR-Strahlung emittiert. In derartigen Niederdruckentladungslampen
wird Quecksilber dazu verwendet, eine UV-Anregung eines in derartigen Niederdruckentladungslampen
verwendeten Leuchtstoffs zu erzwingen. Über den Quecksilberdampf entsteht das den
Leuchtstoff anregende UV-Licht. Quecksilberdampf emittiert bei etwa 250 nm und daher
nicht im Infrarotbereich. Nachteilig an einer derartigen Niederdruckentladungslampe
ist der Umstand, dass die Füllung Quecksilber umfasst, was bei der Entsorgung nach
Lebensdauerende zu Problemen, insbesondere zu unerwünscht hohen Kosten führt. Überdies
ist die Effizienz einer derartigen Niederdruckentladungslampe unerwünscht gering und
zu ihrer Herstellung ist die Verwendung seltener und damit teuerer Rohstoffe nötig.
[0004] Aus dem Stand der Technik sind weitere Strahlungsquellen bekannt, die NIR-Strahlung
emittieren. Beispielhaft sind hier zu nennen LED-Strahler, Glühlampen mit Eliminierung
des sichtbaren Strahlungsanteils sowie HID-Strahler. Weiterhin sind Strahlungsquellen
bekannt, bei denen dielektrisch behinderte Xenon-Entladung eingesetzt wird. Beispielhaft
sind hier zu nennen die Produkte Xeradex und Planon der Firma Osram.
[0005] Den aus dem Stand der Technik bekannten Strahlungsquellen ist gemeinsam, dass sie
entweder einen hohen aparativen Aufwand erfordern, der mit beträchtlichen Kosten einher
geht, lediglich eine niedrige Effizienz oder geringe Strahlungsleistung aufweisen
oder in der Entsorgung problematisch sind.
[0006] Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht deshalb darin, eine Infrarot-Strahlungsquelle
bereitzustellen, die sich durch niedrige Herstellungskosten, Umweltverträglichkeit
sowie hohe Effizienz auszeichnet. Der vorliegenden Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe
zugrunde, ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung einer derartigen Infrarot-Strahlungsquelle
bereitzustellen.
[0007] Diese Aufgaben werden gelöst durch eine Infrarot-Strahlungsquelle mit den Merkmalen
des Patentanspruchs 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs
13.
[0008] Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass sich bei Niederdruckentladungslampen
mit thermisch emittierenden Elektroden unter Verzicht auf Quecksilber bei bestimmten
Xenonpartialdrücken in Abhängigkeit des Entladungs-Volumens des Entladungsgefäßes
in überraschenderweise ein Effekt einstellt, der in unerwartet hohem Umfang zur Emission
von Strahlung im infraroten Wellenlängenbereich führt. Empirisch konnte ermittelt
werden, dass dieser Effekt auftritt, wenn bei einem Entladungs-Volumen kleiner gleich
50 cm
3 ein Xenonpartialdruck zwischen 0,008 mbar und 0,010 mbar verwendet wird und bei einem
Entladungs-Volumen größer 50 cm
3 ein Xenonpartialdruck zwischen 0,3 mbar und 2 mbar. Das Entladungsgefäß einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle ist selbstverständlich so ausgebildet, dass es für Strahlung
im infraroten Wellenlängenbereich transmissiv ist. Insbesondere konnte bei den durchgeführten
Versuchen festgestellt werden, dass sich bei einer derart dimensionierten Füllung
in Abhängigkeit des Entladungs-Volumens völlig unvermutet ein Emissionsmaximum im
infraroten Wellenlängenbereich ergibt. Durch die vorliegende Erfindung lässt sich
demnach eine infrarote Lichtquelle schaffen, die NIR-Strahlung hoher Intensität und
hoher Effizienz sowie geringer Bandbreite erzeugt. Dadurch, dass die Füllung einer
erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle kein Quecksilber aufweist, ergibt sich
eine hohe Umweltverträglichkeit.
[0009] Die bei einer erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle verwendete Niederdruckentladungslampe
zeichnet sich dadurch aus, dass die Elektroden- und Gastemperaturen kaum gekoppelt
sind. Es herrscht demnach kein thermisches Gleichgewicht. Diese Entladungsform wird
auch als Glühemission mit anschließender Stoßentladung bezeichnet. Eine typische Anwendung
ist die Leuchtstofflampe. Bei teilevakuiertem Glasrohr bildet sich an gegenüberliegenden
Elektroden bei ausreichend hoher Spannung eine Glühemission mit anschließender Stoßentladung
aus. "Gegenüberliegend" bedeutet hier "innerhalb des Entladungsgefäßes gegenüberliegend".
Dabei brauchen sich die Elektroden nicht in einer Ebene gegenüberliegen, sondern sind
jeweils am Ende eines beliebig geformten Entladungsgefäßes angeordnet. Niederdruckentladungslampen
können mit direkt beheizten Glühkathoden arbeiten, wobei die Glühkathoden vor dem
Zünden meistens beheizt werden und anschließend ihre Temperatur von selbst durch Rückheizung
beibehalten. Um die Emissionsfähigkeit der Elektroden zu erhalten, werden diese beim
Dimmen bevorzugt beheizt. Alternativ kann anstelle der Stoßentladung auch eine Excimer-Entladung
verwendet werden, um die Aufgabe der vorliegenden Erfindung zu lösen. Wie für den
Fachmann hinlänglich bekannt, kann dies kann Anpassung der Anregungsfrequenz und des
Stromflusses unter Beibehaltung von Druck und Gaszusammensetzung erreicht werden.
[0010] Bei den erwähnten Versuchen konnte eine Ausbeute von Strahlung im infraroten Wellenlängenbereich
von bis zu 30 % nachgewiesen werden. Mittels derartiger Strahlungsquellen beleuchtete
Objekte sind ohne sichtbares Licht für aktive Infrarotkamerasysteme sichtbar. Eine
mögliche Anwendung der vorliegenden Erfindung besteht daher insbesondere in der Objektüberwachung,
wenn sichtbares Licht nicht erwünscht (Lichtverschmutzung; sicherheitsrelevante Dunkelheit)
oder gefährdend (Tunnelüberwachung) ist.
[0011] Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel konnten Strahlungsmaxima näherungsweise
bei den folgenden Wellenlängen festgestellt werden: λ = 825 nm, 880 nm, 895 nm, 905
nm, 915 nm, 980 nm sowie bei 992 nm. Bei dem genannten Ausführungsbeispiel wurden
mehr als 90 % der NIR-Strahlung bis 1000 nm bei den genannten Wellenlängen emittiert.
Dadurch ergeben sich eine äußerst hohe Effizienz und ein sehr hoher Wirkungsgrad.
[0012] Bei bevorzugten Ausführungsbeispielen beträgt der Gesamt-Füllgasdruck im Entladungsgefäß
zwischen 2,5 und 200 mbar, bevorzugt zwischen 6,5 und 20 mbar. Insbesondere im letztgenannten
Bereich wurden eine besonders hohe Effizienz und damit ein besonders hoher Wirkungsgrad
festgestellt.
[0013] Die Elektroden können für eine Gleichspannungsversorgung oder eine Wechselspannungsversorgung
ausgelegt sein. Beide Arten der Versorgung sind möglich. Die Elektroden sind bevorzugt
als Glühwendelelektroden ausgeführt.
[0014] Grundsätzlich wird die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bereits zufriedenstellend
gelöst, wenn die Füllung des Entladungsgefäßes keinen Leuchtstoff umfasst. Bereits
in diesem Fall ist die im infraroten Wellenlängenbereich emittierte Strahlung ausreichend
hoch genug, sodass eine derartige Infrarot-Strahlungsquelle für die meisten Anwendungsfälle
bereits genügend effizient arbeitet. Allerdings lässt sich der Wirkungsgrad noch weiter
optimieren, wenn die Füllung des Entladungsgefäßes einen Leuchtstoff umfasst, der
ausgelegt ist, Strahlung bei einer Wellenlänge von insbesondere 154 nm und/oder 172
nm in NIR-Strahlung umzuwandeln. Diese Idee beruht darauf, dass bei der Anregung des
Xenonanteils durch Stoßentladung oder Excimer-Entladung auch Strahlungsanteile im
UV-Bereich entstehen, die durch Transformation bzw. Konversion mittels eines geeigneten
Leuchtstoffs zum Gesamtausgangssignal im infraroten Wellenlängenbereich beitragen
können. Dabei wird der Leuchtstoff bevorzugt an der Innenwand des Entladungsgefäßes
angebracht, wobei es sich bei dem Leuchtstoff um einen Ein-Photon-Leuchtstoff oder
einen Mehr-Photonen-Leuchtstoff handeln kann. Ein besonders bevorzugter Leuchtstoff
ist unter der Bezeichnung Nichia NP-870 auf dem Markt erhältlich.
[0015] Während Xenon bei einer erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle die Funktion
des Emissionsgases übernimmt, kann die Füllung des Entladungsgefäßes weiterhin mindestens
eines der folgenden Elemente als Trägergas umfassen: Argon, Neon, Krypton, Helium,
Radon, Stickstoff in Kombination mit mindestens einem Edelgas, Sauerstoff in Kombination
mit mindestens einem Edelgas. Bei Röhren mit einem Durchmesser von bis zu 120 mm liefert
die Verwendung von reinem Argon als Trägergas besonders gute Ergebnisse. Bei Durchmessern
von über 120 mm funktionieren Neon-Argon-Gasgemische gut. Noch bessere Ergebnisse
ergeben sich bei einem Gasgemisch, das Neon, Argon und Krypton umfasst. In beiden
Fällen ergibt sich eine hohe Lebensdauer. Weiterhin werden die Strahlungsleistung
und die Effizienz der Niederdruckentladungslampe deutlich erhöht. Die Verwendung von
Neon als Trägergas liefert die höchste Strahlungsdichte und die höchste Strahlungseffizienz.
Allerdings fehlen hierzu noch Ergebnisse die Lebensdauer betreffend.
[0016] Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist das Entladungsgefäß so ausgebildet,
dass es UV-A-, UV-B- und/oder UV-C-Strahlung absorbiert. Zu diesem Zweck kann das
Enladungsgefäß aus Borosilikat- oder Weichgläsern bestehen. Auf diese Weise wird die
Entstehung von umwelt- und gesundheitsschädlichem Ozon verhindert. Dieser entsteht
sonst, wenn kurzwellige/hochenergetische UV-Strahlung vom Luftsauerstoff absorbiert
wird.
[0017] Besonders bevorzugt ist es jedoch, wenn eine erfindungsgemäße Infrarot-Strahlungsquelle
eine optische Filtervorrichtung umfasst. Dabei kann die optische Filtervorrichtung
derart ausgebildet sein, dass sie für Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 380
nm und 600 nm undurchlässig ist, insbesondere Strahlung in diesem Wellenlängenbereich
absorbiert.
[0018] Bei einer besonders bevorzugten Variante stellt das Entladungsgefäß die optische
Filtervorrichtung dar und besteht aus optischem Filterglas, das ausgelegt ist, Strahlung
im Wellenlängenbereich zwischen 380 nm und 600 nm zu absorbieren. Die optische Filtervorrichtung
kann jedoch auch beispielsweise in Form eines Schutzlacks oder eines Schlauchs auf
das Entladungsgefäß aufgebracht sein. Alternativ kann ein Filtergefäß vorgesehen sein,
das die optische Filtervorrichtung umfasst und das das Entladungsgefäß zumindest teilweise
umschließt.
[0019] Die optische Filtervorrichtung kann demnach bevorzugt ausgelegt werden, auch minimale
Spektralanteile im sichtbaren Wellenlängenbereich aus dem Emissionsspektrum zu filtern.
Die optische Filtervorrichtung ist daher insbesondere für Strahlung im sichtbaren
Wellenlängenbereich undurchlässig. Mit bloßem Auge kann eine erfindungsgemäße Infrarot-Strahlungsquelle
somit nicht erkannt werden. Auf diese Weise wirkt sie auch nicht störend.
[0020] Weitere bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
[0021] Die mit Bezug auf eine erfindungsgemäße Infrarot-Strahlungsquelle vorgestellten bevorzugten
Ausführungsformen und deren Vorteile gelten entsprechend, soweit anwendbar, für das
erfindungsgemäße Verfahren. Die Reihenfolge der Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens
kann zweckmäßig variiert werden.
[0022] Im Nachfolgenden werden nunmehr Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter
Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:
- Fig. 1
- in schematischer Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle;
- Fig. 2
- in schematischer Darstellung ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle;
- Fig. 3
- in schematischer Darstellung ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle;
- Fig. 4
- in schematischer Darstellung ein viertes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle;
- Fig. 5
- den Transmissionsgrad über der Wellenlänge für ein erstes Ausführungsbeispiel einer
bei einer erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle verwendbaren optischen Filtervorrichtung;
- Fig. 6
- den Transmissionsgrad über der Wellenlänge für ein zweites Ausführungsbeispiel einer
bei einer erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle verwendbaren optischen Filtervorrichtung;
und
- Fig. 7
- in schematischer Darstellung das Anregungsspektrum sowie das Emissionsspektrum eines
bei einer erfindungsgemäßen Infrarot-Strahlungsquelle verwendbaren Leuchtstoffs.
[0023] In den Figuren werden für gleiche und gleich wirkende Bauteile und Elemente dieselben
Bezugszeichen verwendet. Diese werden der Einfachheit halber nur einmal eingeführt.
[0024] Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle 10. Diese weist eine Niederdruckentladungslampe mit einem
Entladungsgefäß 12 auf, dessen Füllung in Abhängigkeit von seinem Entladungs-Volumen
durch folgende Merkmale gekennzeichnet ist: Beträgt das Entladungs-Volumen weniger
als 50 cm
3, enthält die Füllung Xenon mit einem Partialdruck zwischen 0,008 mbar und 0,010 mbar.
Beträgt das Entladungs-Volumen mehr als 50 cm
3, beträgt der Partialdruck des Xenonanteils zwischen 0,3 mbar und 2 mbar. Die Füllung
enthält ausdrücklich kein Quecksilber.
[0025] Die Niederdruckentladungslampe umfasst eine erste 14a und eine zweite Glühwendelelektrode
14b, die an jeweiligen Enden des Entladungsgefäßes 12 und innerhalb des Entladungsgefäßes
12 gegenüberliegend angeordnet sind. In dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
enthält die Füllung des Entladungsgefäßes 12 keinen Leuchtstoff. Weiterhin enthält
die Füllung als Trägergas mindestens eines der Elemente Argon, Neon, Krypton, Helium,
Radon, Stickstoff in Kombination mit mindestens einem Edelgas, Sauerstoff in Kombination
mit mindestens einem Edelgas. Selbstverständlich sind andere Formen des Entladungsgefäßes
als das Dargestellte ebenfalls möglich. Der Gesamt-Füllgasdruck im Entladungsgefäß
beträgt zwischen 2,5 und 200 mbar, bevorzugt zwischen 6,5 und 20 mbar.
[0026] Bei einer Alternative zu dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel kann das
Entladungsgefäß 12 einen Leuchtstoff umfassen, der ausgelegt ist, insbesondere Strahlung
bei einer Wellenlänge von 154 nm und/oder 172 nm in NIR-Strahlung umzuwandeln. Das
Entladungsgefäß 12 selbst kann ausgebildet sein, UV-A-, UV-B- und/oder UV-C-Strahlung
zu absorbieren.
[0027] Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein optisches Filter 16 auf
das Entladungsgefäß 12 aufgebracht. Dabei ist das optische Filter 16 für Strahlung
im Wellenlängenbereich zwischen 360 nm und 600 nm undurchlässig beziehungsweise absorbiert
Strahlung in diesem Wellenlängenbereich.
[0028] Das optische Filter kann beispielsweise in Form eines Lacks oder einer Pulverschicht
innen oder außen auf das Entladungsgefäß 12 aufgebracht sein.
[0029] Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein Filtergefäß 18 vorgesehen,
das das Entladungsgefäß 12 zumindest teilweise umschließt, wobei das Filtergefäß 18
die optische Filtervorrichtung darstellt. Auf diese Weise lässt sich eine erfindungsgemäße
Infrarot-Strahlungsquelle in unterschiedlichen Betriebsmodi betreiben, einmal für
das menschliche Auge unsichtbar und einmal für das menschliche Auge sichtbar, sofern
das Filtergefäß 18 reversibel mit dem Entladungsgefäß 12 koppelbar ist. Bei einer
defekten Niederdruckentladungslampe kann überdies das Filtergefäß 18 für die Ersatz-Niederdruckentladungslampe
weiterverwendet werden.
[0030] Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem das Entladungsgefäß 12 die optische
Filtervorrichtung darstellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel besteht das Entladungsgefäß
12 aus optischem Filterglas, das ausgelegt ist, Strahlung in dem genannten Wellenlängenbereich
zwischen 380 nm und 600 nm zu absorbieren.
[0031] In Fig. 5 ist der Transmissionsgrad in Abhängigkeit der Wellenlänge für ein erstes
Ausführungsbeispiel einer optischen Filtervorrichtung, wie sie bei einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle verwendbar ist, dargestellt. Wie deutlich zu erkennen, ist
eine derartige optische Filtervorrichtung für Strahlung bis zu einer Wellenlänge von
600 nm undurchlässig.
[0032] Fig. 6 zeigt den entsprechenden Verlauf für ein zweites Ausführungsbeispiel einer
optischen Filtervorrichtung. Diese ist so ausgestaltet, dass sie für Strahlung bis
zu Wellenlängen von ca. 730 nm undurchlässig ist. Der Vorteil der Verwendung einer
optischen Filtervorrichtung, die einen wie in Fig. 6 dargestellten spektralen Verlauf
aufweist, liegt darin, dass nahezu kein sichtbares Licht emittiert wird. Nachteilig
daran ist allerdings der Umstand, dass die Effizienz um ca. 20% gesenkt wird.
[0033] Wie bereits erwähnt, kann bei besonders bevorzugten Ausführungsbeispielen einer erfindungsgemäßen
Infrarot-Strahlungsquelle ein Leuchtstoff vorgesehen sein, der ausgelegt ist, Strahlung
insbesondere bei einer Wellenlänge von 154 nm und/oder von 172 nm in NIR-Strahlung
umzuwandeln. In diesem Zusammenhang zeigt Fig. 7 das Emissions- und Absorptionsspektrum
eines geeigneten Leuchtstoffs, der unter der Bezeichnung Nichia NP-870 auf dem Markt
erhältlich ist. Ein derartiger Leuchtstoff absorbiert elektromagnetische Energie im
Bereich der UV-A-, UV-B- und/oder UV-C-Strahlung, siehe Kurvenzug a), der das Anregungsspektrum
zeigt. Kurvenzug b) zeigt das Emissionsspektrum von elektromagnetischer Energie bei
Anregung gemäß Kurvenzug a). Wie aus dem Verlauf des Kurvenzugs b) deutlich zu erkennen
ist, wird Energie im infraroten Wellenlängenbereich emittiert.
[0034] Der Leuchtstoff kann in Form einer Pulverschicht an der Innenseite eines UV-A-, Bund/oder
C-Strahlung absorbierenden oder außerhalb eines für UV-A-, UV-B- und/oder UV-C-Strahlung
transmissiven Entladungsgefäßes 12 aufgebracht sein. Die Aufbringung an der Innenseite
hat den Vorteil, dass der Leuchtstoff vor mechanischen Einflüssen geschützt ist.
[0035] Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Herstellen einer Infrarot-Strahlungsquelle
wird zunächst ein Entladungsgefäß 12 bereitgestellt. Dann werden in dem Entladungsgefäß
die erste 14a und die zweite thermisch emittierende Elektrode 14b derart angeordnet,
dass sie im Entladungsgefäß gegenüberliegend, das heißt an beiden Enden des Entladungsgefäßes,
angeordnet sind. Anschließend wird das Entladungsgefäß aufgeheizt und evakuiert. Nach
einem Abkühlungsschritt wird das Entladungsgefäß mit einer Füllung befüllt, die kein
Quecksilber enthält, jedoch Xenon mit einem Partialdruck, der abhängt vom Entladungs-Volumen
des Entladungsgefäßes. Ist dieses kleiner gleich 50 cm
3, beträgt der Xenonpartialdruck zwischen 0,008 mbar und 0,010 mbar, während für Entladungs-Volumina
größer 50 cm
3 der Xenonpartialdruck zwischen 0,3 mbar und 2 mbar beträgt. Wie bereits erwähnt,
können die Reihenfolge der Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens zweckmäßig variiert
werden.
1. Infrarot-Strahlungsquelle (10) mit einer Niederdruckentladungslampe umfassend
- ein Entladungsgefäß (12) mit einem Entladungs-Volumen; und
- eine erste (14a) und eine zweite thermisch emittierende Elektrode (14b), die in
dem Entladungsgefäß (12) gegenüberliegend angeordnet sind;
wobei die Füllung des Entladungsgefäßes folgende Merkmale aufweist:
- die Füllung enthält kein Quecksilber; und
- der Xenon-Partialdruck beträgt:
-- bei einem Entladungs-Volumen kleiner gleich 50 cm3 zwischen 0,008 mbar und 0,010 mbar, und
-- bei einem Entladungs-Volumen größer 50 cm3 zwischen 0,3 mbar und 2 mbar.
2. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Gesamt-Füllgasdruck im Entladungsgefäß (12) zwischen 2,5 und 200 mbar beträgt,
bevorzugt zwischen 6,5 und 20 mbar.
3. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Füllung des Entladungsgefäßes (12) keinen Leuchtstoff umfasst.
4. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Füllung des Entladungsgefäßes (12) einen Leuchtstoff umfasst, der ausgelegt ist,
Strahlung bei einer Wellenlänge von 154 nm und/oder 172 nm in IR-Strahlung umzuwandeln.
5. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Füllung des Entladungsgefäßes (12) als Trägergas mindestens eines der folgenden
Elemente umfasst:
Argon; Neon; Krypton; Helium; Radon; Stickstoff in Kombination mit mindestens einem
Edelgas; Sauerstoff in Kombination mit mindestens einem Edelgas.
6. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Entladungsgefäß (12) ausgebildet ist, UV-A-, UV-B- und/oder UV-C-Strahlung zu
absorbieren.
7. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine optische Filtervorrichtung (16; 18) vorgesehen ist.
8. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
dass die optische Filtervorrichtung (16; 18) für Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen
380 nm und 600 nm undurchlässig ist.
9. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
dass die optische Filtervorrichtung (16; 18) ausgelegt ist, Strahlung im Wellenlängenbereich
zwischen 380 nm und 600 nm zu absorbieren.
10. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Entladungsgefäß (12) die optische Filtervorrichtung (16; 18) darstellt und aus
optischem Filterglas besteht, das ausgelegt ist, Strahlung im Wellenlängenbereich
zwischen 380 nm und 600 nm zu absorbieren.
11. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der Ansprüche 7 oder 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass die optische Filtervorrichtung (16; 18) auf das Entladungsgefäß (12) aufgebracht
ist.
12. Infrarot-Strahlungsquelle (10) nach einem der Ansprüche 7 oder 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Entladungsgefäß (12) zumindest teilweise von einem Filtergefäß umschlossen ist,
das die optische Filtervorrichtung (16; 18) umfasst.
13. Verfahren zum Herstellen einer Infrarot-Strahlungsquelle (10),
folgende Schritte umfassend:
a) Bereitstellen eines Entladungsgefäßes;
b) Montieren einer ersten (14a) und einer zweiten thermisch emittierenden Elektrode
(14b) in dem Entladungsgefäß (12) derart, dass die Elektroden (14a, 14b) gegenüberliegend
angeordnet sind;
c) Aufheizen und Evakuieren des Entladungsgefäßes; und
d) Abkühlen des Entladungsgefäßes; und
e) Befüllen des Entladungsgefäßes mit einer Füllung, wobei die Füllung folgende Merkmale
aufweist:
- die Füllung enthält kein Quecksilber; und
- die Füllung enthält Xenon, wobei der Xenon-Partialdruck
-- bei einem Entladungs-Volumen kleiner gleich 50 cm3 zwischen 0,008 mbar und 0,010 mbar beträgt; und
-- bei einem Entladungs-Volumen größer 50 cm3 zwischen 0,3 mbar und 2 mbar.