(19)
(11) EP 2 719 262 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.03.2013

(43) Veröffentlichungstag:
16.04.2014  Patentblatt  2014/16

(21) Anmeldenummer: 12753385.9

(22) Anmeldetag:  16.05.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/46(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2012/100142
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/159620 (29.11.2012 Gazette  2012/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 24.05.2011 DE 102011076404

(71) Anmelder: TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG
79111 Freiburg im Breisgau (DE)

(72) Erfinder:
  • MERTE, Rolf
    79117 Freiburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR IMPEDANZANPASSUNG DER AUSGANGSIMPEDANZ EINER HOCHFREQUENZLEISTUNGSVERSORGUNGSANORDNUNG AN DIE IMPEDANZ EINER PLASMALAST UND HOCHFREQUENZLEISTUNGSVERSORGUNGSANORDNUNG