(19)
(11) EP 2 721 370 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.07.2013

(43) Veröffentlichungstag:
23.04.2014  Patentblatt  2014/17

(21) Anmeldenummer: 12766922.4

(22) Anmeldetag:  03.09.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/02(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/067113
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/045210 (04.04.2013 Gazette  2013/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 26.09.2011 DE 102011083421

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Detlef
    81829 München (DE)
  • GERGEN, Werner
    85609 Aschheim (DE)
  • WEBER, Martin
    85570 Markt Schwaben (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERMESSEN HOMOGEN REFLEKTIERENDER OBERFLÄCHEN