(19)

(11)

EP 2 724 374 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.04.2014  Patentblatt  2014/18 (21) Anmeldenummer: 12731380.7 (22) Anmeldetag:  22.06.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/732(2006.01) H01L 29/08(2006.01) H01L 29/735(2006.01) H01L 29/06(2006.01) H01L 29/40(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/062155 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/175716 (27.12.2012 Gazette  2012/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 24.06.2011 DE 102011078072 17.10.2011 DE 102011084642 (71) Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt / Oder (DE)	(72) Erfinder: SORGE, Roland 15236 Frankfurt (Oder) (DE) (74) Vertreter: Eisenführ Speiser  Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)