(19)

(11)

EP 2 726 643 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.05.2014  Patentblatt  2014/19 (21) Anmeldenummer: 12725436.5 (22) Anmeldetag:  04.06.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/04(2006.01) C23C 16/515(2006.01) C23C 16/452(2006.01) H01J 37/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/060497 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/004440 (10.01.2013 Gazette  2013/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 01.07.2011 DE 102011107836 (71) Anmelder: Reinhausen Plasma GmbH 93057 Regensburg (DE)	(72) Erfinder: NETTESHEIM, Stefan 12205 Berlin (DE) KORZEC, Dariusz 93173 Wenzenbach (DE) (74) Vertreter: Reichert, Werner Franz  Reichert & Kollegen Bismarckplatz 8 93047 Regensburg 93047 Regensburg (DE)