(19)

(11)

EP 2 732 459 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.05.2014  Patentblatt  2014/21 (21) Anmeldenummer: 12740874.8 (22) Anmeldetag:  25.04.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2012/000589 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/007229 (17.01.2013 Gazette  2013/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 12.07.2011 DE 102011107657 (71) Anmelder: NASP III/V GmbH 35041 Marburg (DE)	(72) Erfinder: KUNERT, Bernadette 35041 Marburg (DE) (74) Vertreter: Jungblut & Seuss  Patentanwälte Max-Dohrn-Strasse 10 10589 Berlin 10589 Berlin (DE)