| (84) |
Designated Contracting States: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
| (30) |
Priority: |
19.07.2011 IT UD20110115
07.12.2011 US 201161567986 P
16.07.2012 US 201213550398
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| (71) |
Applicant: APPLIED MATERIALS ITALIA S.R.L. |
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31048 San Biagio di Callalta (TV) (IT) |
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| (72) |
Inventors: |
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- VOLTAN, Alessandro
I-35020 Legnaro (IT)
- CELLERE, Giorgio
I-36040 Torri di Quartesolo (IT)
- MENEGHESSO, Gaudenzio
I-36013 Piovene Rocchette (IT)
- MENEGHINI, Matteo
I-35011 Campodarsego (IT)
- BARBISAN, Diego
I-31040 Onigo di Pederobba (IT)
- ZANONI, Enrico
I-35123 Padova (IT)
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| (74) |
Representative: Zimmermann & Partner |
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Josephspitalstr. 15
80331 München
80331 München (DE) |
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