(19)
(11) EP 2 739 923 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.06.2014  Patentblatt  2014/24

(21) Anmeldenummer: 12741294.8

(22) Anmeldetag:  20.07.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F26B 3/18(2006.01)
F26B 13/10(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/064305
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/017441 (07.02.2013 Gazette  2013/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 01.08.2011 DE 102011080222
20.06.2012 DE 102012210431

(71) Anmelder: FMP Technology GmbH Fluid Measurements & Projects
91058 Erlangen (DE)

(72) Erfinder:
  • DURST, Franz
    91094 Langensendelbach (DE)

(74) Vertreter: Gassner, Wolfgang et al
Dr. Gassner & Partner mbB Patentanwälte Marie-Curie-Strasse 1
91052 Erlangen
91052 Erlangen (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TROCKNUNG EINES AUF EIN SUBSTRAT AUFGETRAGENEN FLUIDFILMS