|
(11) | EP 2 740 943 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
| (54) | Vakuumpumpe |
| (57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Komponente (30), die
ein Material umfasst oder daraus besteht, welches ein Metall und Nanopartikel enthält,
sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpe.
|