(19)

(11)

EP 2 748 839 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.07.2014  Patentblatt  2014/27 (21) Anmeldenummer: 12750595.6 (22) Anmeldetag:  23.08.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/02(2006.01) H01L 21/36(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/066424 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/030088 (07.03.2013 Gazette  2013/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.08.2011 DE 102011053049 26.08.2011 DE 102011053050 (71) Anmelder: Dsetec GmbH & Co. KG 80933 München (DE)	(72) Erfinder: SCHMID, Dieter 89077 Ulm (DE) (74) Vertreter: Kaufmann, Ursula Josefine  Schottstraße 8 70192 Stuttgart 70192 Stuttgart (DE)