(19)

(11)

EP 2 751 834 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.07.2014  Patentblatt  2014/28 (21) Anmeldenummer: 12758806.9 (22) Anmeldetag:  24.08.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/677(2006.01) B05C 1/08(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/066501 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/030109 (07.03.2013 Gazette  2013/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 01.09.2011 DE 102011081981 (71) Anmelder: Gebr. Schmid GmbH 72250 Freudenstadt (DE)	(72) Erfinder: LAMPPRECHT, Jörg 72175 Dornhan (DE) REISER, Matthias 72270 Baiersbronn (DE) WEISSER, Kai 78050 Villingen-Schwenningen (DE) HAVERKAMP, Helge 71083 Herrenberg (DE) MICHAEL, Niethammer 75365 Calw (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)