(19)
(11) EP 2 751 842 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.07.2014  Patentblatt  2014/28

(21) Anmeldenummer: 12753100.2

(22) Anmeldetag:  20.08.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0236(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/066168
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/030022 (07.03.2013 Gazette  2013/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 31.08.2011 DE 102011111511

(71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NIEVENDICK, Jan
    79110 Freiburg (DE)
  • SPECHT, Jan
    79106 Freiburg (DE)
  • ZAHNER, Lorenz
    79106 Freiburg (DE)
  • RENTSCH, Jochen
    79312 Emmendingen (DE)
  • BIRO, Daniel
    79106 Freiburg (DE)
  • STÜWE, David
    79106 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte Partnerschaft mbB 
Bismarckstraße 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER HONEYCOMB-TEXTUR AN EINER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATES