(19)
(11) EP 2 756 276 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.12.2013

(43) Veröffentlichungstag:
23.07.2014  Patentblatt  2014/30

(21) Anmeldenummer: 12756380.7

(22) Anmeldetag:  07.09.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/06(2006.01)
G01J 5/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/003759
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/037467 (21.03.2013 Gazette  2013/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 15.09.2011 US 201161534943 P

(71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • KRASSNITZER, Siegfried
    CH-6800 Feldkirch (AT)
  • ESSELBACH, Markus
    A-6800 Feldkirch (AT)

(74) Vertreter: Kempkens, Anke 
Hofgraben 486
86899 Landsberg
86899 Landsberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR TEMPERATURMESSUNG VON SUBSTRATEN IN EINER VAKUUMKAMMER