(19)
(11)
EP 2 756 276 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
27.12.2013
(43)
Veröffentlichungstag:
23.07.2014
Patentblatt 2014/30
(21)
Anmeldenummer:
12756380.7
(22)
Anmeldetag:
07.09.2012
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01J
5/06
(2006.01)
G01J
5/00
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/003759
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/037467
(
21.03.2013
Gazette 2013/12)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
(30)
Priorität:
15.09.2011
US 201161534943 P
(71)
Anmelder:
Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)
(72)
Erfinder:
KRASSNITZER, Siegfried
CH-6800 Feldkirch (AT)
ESSELBACH, Markus
A-6800 Feldkirch (AT)
(74)
Vertreter:
Kempkens, Anke
Hofgraben 486
86899 Landsberg
86899 Landsberg (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR TEMPERATURMESSUNG VON SUBSTRATEN IN EINER VAKUUMKAMMER