(19)
(11) EP 2 761 057 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.08.2014  Patentblatt  2014/32

(21) Anmeldenummer: 12761600.1

(22) Anmeldetag:  14.09.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 28/00(2006.01)
C23C 4/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/068055
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/072092 (23.05.2013 Gazette  2013/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 14.11.2011 EP 11188983

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • CASU, Alessandro
    47057 Duisburg (DE)
  • LÜSEBRINK, Oliver
    58456 Witten (DE)

   


(54) SCHICHTSYSTEM MIT STRUKTURIERTER SUBSTRATOBERFLÄCHE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG