(19)

(11)

EP 2 761 415 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.08.2014  Bulletin  2014/32 (21) Numéro de dépôt: 12756770.9 (22) Date de dépôt:  08.08.2012

(51) Int. Cl.:  G06F 3/042(2006.01) H01L 27/14(2006.01) H01L 21/312(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2012/051863 (87) Numéro de publication internationale: WO 2013/045779 (04.04.2013 Gazette  2013/14)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 27.09.2011 FR 1158607 (71) Demandeurs: ISORG 38000 Grenoble (FR) Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: GOMEZ, Jean-Yves F-38000 Grenoble (FR) JAMET, Laurent F-38000 Grenoble (FR) GUERINEAU, Emmanuel F-38000 Grenoble (FR) PREMONT, Christophe F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Thibon, Laurent  Cabinet Beaumont 1, rue Champollion 38000 Grenoble 38000 Grenoble (FR)