(19)

(11)

EP 2 764 536 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.08.2014  Patentblatt  2014/33 (21) Anmeldenummer: 11779222.6 (22) Anmeldetag:  06.10.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/687(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/IB2011/054403 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/050805 (11.04.2013 Gazette  2013/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (71) Anmelder: Roth & Rau AG 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)	(72) Erfinder: MAI, Joachim 04603 Nobitz (DE) OELSNER, Daniel 09117 Chemnitz (DE) RICHTER, Thilo 09212 Limbach-Oberfrohna (DE) HELBIG, Thomas 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE) EISMANN, Lutz 08112 Wilkau-Hasslau (DE) (74) Vertreter: Steiniger, Carmen  Patentanwaltskanzlei Dr. Steiniger Ricarda-Huch-Strasse 4 09116 Chemnitz 09116 Chemnitz (DE)