(19)

(11)

EP 2 766 924 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.08.2014  Patentblatt  2014/34 (21) Anmeldenummer: 12784496.7 (22) Anmeldetag:  12.10.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) H01L 27/146(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/070305 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/053908 (18.04.2013 Gazette  2013/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 14.10.2011 DE 102011084576 (71) Anmelder: Häcker Automation GmbH 99891 Schwarzhausen (DE)	(72) Erfinder: HÄCKER, Gerrit 99846 Seebach (DE) (74) Vertreter: Liedtke, Markus  Liedtke & Partner Patentanwälte Gerhart-Hauptmann-Strasse 10-11 99096 Erfurt 99096 Erfurt (DE)