(19)

(11)

EP 2 769 188 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.08.2014  Patentblatt  2014/35 (21) Anmeldenummer: 12794630.9 (22) Anmeldetag:  17.10.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 5/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) G01J 5/08(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/004347 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/056828 (25.04.2013 Gazette  2013/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 17.10.2011 DE 102011116243 (71) Anmelder: Centrotherm Thermal Solutions GmbH + CO. KG 89143 Blaubeuren (DE)	(72) Erfinder: REICHEL, Denise 09432 Großolbersdorf (DE) LERCH, Wilfried 89160 Dornstadt - Tomerdingen (DE) GELPEY, Jeffrey C. Boston, Massachusetts 02118 (US) SKORUPA, Wolfgang 01108 Dresden (DE) SCHUMANN, Thomas 01097 Dresden (DE) (74) Vertreter: Wimmer, Hubert  WAGNER & GEYER Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)