(19)
(11) EP 2 771 700 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.09.2014  Patentblatt  2014/36

(21) Anmeldenummer: 12708500.9

(22) Anmeldetag:  09.02.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 5/28(2006.01)
G01R 29/12(2006.01)
 G01R 15/16(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/052213
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/117228 (15.08.2013 Gazette  2013/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MAKUTH, Jens
    90537 Feucht (DE)
  • SCHEIBNER, Dirk
    90473 Nürnberg (DE)
  • SCHIMMER, Jürgen
    90473 Nürnberg (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN BESTIMMEN EINES ELEKTRISCHEN POTENTIALS