(19)
(11) EP 2 772 650 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.12.2015  Patentblatt  2015/51

(43) Veröffentlichungstag A2:
03.09.2014  Patentblatt  2014/36

(21) Anmeldenummer: 14153982.5

(22) Anmeldetag:  05.02.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
 F04D 29/58(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 28.02.2013 DE 102013203421

(71) Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Schill, Michael
    35614 Asslar-Bechlingen (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) Vakuumpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpeneinlass (10), einem Pumpenauslass (14) und einem zwischen dem Pumpeneinlass (10) und dem Pumpenauslass (14) angeordneten Pumpenraum (18) für ein zu pumpendes Gas, sowie mit zumindest einem Kühlgaseinlass (48) für ein Kühlgas zur Kühlung der Vakuumpumpe und mit einem oder mehreren mit dem Kühlgaseinlass (48) gasleitend verbundenen und außerhalb des Pumpenraums (18) angeordneten Hohlbereichen (50, 52, 54) für das Kühlgas, wobei der oder jeder Hohlbereich (50, 52, 54) durch wenigstens eine Komponente (22, 58, 74) der Vakuumpumpe begrenzt ist.







Recherchenbericht









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