(19)
(11) EP 2 777 078 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.09.2014  Patentblatt  2014/38

(21) Anmeldenummer: 12794633.3

(22) Anmeldetag:  09.11.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 33/18(2010.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/004667
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/068125 (16.05.2013 Gazette  2013/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 11.11.2011 DE 102011118273

(71) Anmelder: Forschungsverbund Berlin E.V.
12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • BRANDT, Oliver
    10717 Berlin (DE)
  • GEELHAAR, Lutz
    10825 Berlin (DE)
  • KAGANER, Vladimir
    16540 Hohen Neuendorf (DE)
  • WÖLZ, Martin
    12047 Berlin (DE)

(74) Vertreter: v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB 
Akademiestraße 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) HERSTELLUNG EINER HALBLEITEREINRICHTUNG MIT MINDESTENS EINEM SÄULEN- ODER WANDFÖRMIGEN HALBLEITERELEMENT