(19)
(11) EP 2 782 869 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.10.2014  Patentblatt  2014/40

(21) Anmeldenummer: 12788213.2

(22) Anmeldetag:  20.11.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 13/11(2006.01)
A61L 2/14(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2012/073139
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/076102 (30.05.2013 Gazette  2013/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 22.11.2011 DE 102011119634

(71) Anmelder:
  • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
    80539 München (DE)
  • University of California at Berkeley
    Berkeley, CA 94720-1620 (US)

(72) Erfinder:
  • MORFILL, Gregor
    81927 München (DE)
  • SHIMIZU, Tetsuji
    85748 Garching (DE)
  • ZIMMERMANN, Julia
    81925 München (DE)
  • LI, Yang-Fang
    85748 Garching (DE)
  • GRAVES, David
    Lafayette, CA 94549 (US)
  • SAKIYAMA, Yukinori
    West Linn, OR 97068 (US)

(74) Vertreter: Gleiss, Alf-Olav et al
Gleiss Große Schrell und Partner mbB Patentanwälte Rechtsanwälte Leitzstraße 45
70469 Stuttgart
70469 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN PLASMAS MIT VORHERBESTIMMTER OZONKONZENTRATION