(19)

(11)

EP 2 786 285 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 25.07.2013 (43) Veröffentlichungstag: 08.10.2014  Patentblatt  2014/41 (21) Anmeldenummer: 12790824.2 (22) Anmeldetag:  06.11.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G06F 17/50(2006.01) H01L 31/042(2014.01) H01L 31/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/071908 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/079282 (06.06.2013 Gazette  2013/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.11.2011 DE 102011055849 06.07.2012 DE 102012106124 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE) Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: BISCHOFF, Martin 83607 Holzkirchen (DE) HENNIG, Oliver 81543 München (DE) KÜFER, Karl-Heinz 67685 Weilerbach (DE) PLOCIENNIK, Kai 67661 Kaiserslautern (DE) SCHÜLE, Ingmar 67663 Kaiserslautern (DE) WEBER, Jens 91077 Neunkirchen am Brand (DE)