(19)

(11)

EP 2 795 658 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.10.2014  Patentblatt  2014/44 (21) Anmeldenummer: 12812516.8 (22) Anmeldetag:  23.11.2012

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/34(2006.01) C23C 14/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2012/004847 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/091761 (27.06.2013 Gazette  2013/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 21.12.2011 DE 102011121770 (71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach 9477 Trübbach (CH)	(72) Erfinder: KRASSNITZER, Siegfried A-6800 Feldkirch (AT) RUDIGIER, Helmut CH-7310 Bad Ragaz (CH) (74) Vertreter: Kempkens, Anke  Hofgraben 486 86899 Landsberg 86899 Landsberg (DE)