(19)

(11)

EP 2 806 973 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.12.2014  Patentblatt  2014/49 (21) Anmeldenummer: 13704546.4 (22) Anmeldetag:  28.01.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01L 3/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/000247 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/110474 (01.08.2013 Gazette  2013/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.01.2012 DE 102012001438 (71) Anmelder: Munich Metrology GmbH 81373 Muenchen (DE)	(72) Erfinder: BEIKLER, Robert 80339 Muenchen (DE) (74) Vertreter: Laufhütte, Dieter  Lorenz-Seidler-Gossel Widenmayerstrasse 23 80538 München 80538 München (DE)