(19)
(11) EP 2 809 754 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.12.2014  Patentblatt  2014/50

(21) Anmeldenummer: 13703001.1

(22) Anmeldetag:  01.02.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C10M 107/34(2006.01)
C10N 40/22(2006.01)
H01L 21/304(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/051992
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/113859 (08.08.2013 Gazette  2013/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 01.02.2012 EP 12153406

(71) Anmelder: BASF SE
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • SEELMANN-EGGEBERT, Hans-Peter
    67117 Limburgerhof (DE)
  • MAITRO-VOGEL, Sophie
    68199 Mannheim (DE)
  • REIS-WALTHER, Eva-Maria
    64747 Breuberg (DE)
  • BENTELE, Joachim
    67063 Ludwigshafen (DE)
  • ÄLVEBORN-JANSSON, Lena
    S-43854 Hindas (SE)

(74) Vertreter: Schuck, Alexander 
Isenbruck Bösl Hörschler LLP Patentanwälte EASTSITE ONE Seckenheimer Landstraße 4
68163 Mannheim
68163 Mannheim (DE)

   


(54) KÜHL- UND/ODER SCHMIERFLÜSSIGKEITEN ZUR WAFERHERSTELLUNG