(19)

(11)

EP 2 812 912 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.10.2013 (43) Veröffentlichungstag: 17.12.2014  Patentblatt  2014/51 (21) Anmeldenummer: 13702765.2 (22) Anmeldetag:  25.01.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/051400 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/117438 (15.08.2013 Gazette  2013/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 09.02.2012 DE 102012201935 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: FRUEH, Christiane 71636 Ludwigsburg (DE) FIX, Andreas 70439 Stuttgart (DE)