(19)

(11)

EP 2 820 668 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 30.01.2014 (43) Veröffentlichungstag: 07.01.2015  Patentblatt  2015/02 (21) Anmeldenummer: 13707587.5 (22) Anmeldetag:  22.02.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 49/02(2006.01) H03L 1/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/053550 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/127701 (06.09.2013 Gazette  2013/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 29.02.2012 DE 102012203141 (71) Anmelder: Inficon GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: ROLFF, Norbert 50169 Horrem (DE) (74) Vertreter: Von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patentanwälten und Rechtsanwälten mbB  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)