(19)
(11) EP 2 820 669 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.01.2015  Patentblatt  2015/02

(21) Anmeldenummer: 13713077.9

(22) Anmeldetag:  16.02.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/285(2006.01)
 H01L 21/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2013/000087
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/127378 (06.09.2013 Gazette  2013/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 27.02.2012 DE 102012003585

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • ZHAO, Qing-Tai
    52428 Jülich (DE)
  • KNOLL, Lars
    52074 Aachen (DE)
  • MANTL, Siegfried
    52428 Jülich (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINKRISTALLINEN METALL-HALBLEITER-VERBINDUNG