(19)
(11) EP 2 821 650 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.02.2015  Patentblatt  2015/09

(43) Veröffentlichungstag A2:
07.01.2015  Patentblatt  2015/02

(21) Anmeldenummer: 14171516.9

(22) Anmeldetag:  06.06.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 37/14(2006.01)
F04B 49/03(2006.01)
F04B 41/06(2006.01)
F04C 25/02(2006.01)
 F04B 45/04(2006.01)
F04B 53/04(2006.01)
F04D 19/04(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 05.07.2013 DE 102013213257

(71) Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Burggraf, Thorsten
    65594 Runkel (DE)
  • Wissner, Jürgen
    35466 Rabenau (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) Membranvakuumpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Membranvakuumpumpe mit wenigstens einer Membranpumpstufe, wenigstens einem der Membranpumpstufe zugeordneten Einlassventil für ein zu förderndes Prozessgas und wenigstens einem Gasballastventil zur Zuführung eines Ballastgases, wobei der durch das Gasballastventil führende Strömungsweg für das Ballastgas in Strömungsrichtung des Prozessgases hinter dem Einlassventil in den Strömungsweg für das Prozessgas mündet.







Recherchenbericht









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