(19)

(11)

EP 2 825 681 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.01.2015  Patentblatt  2015/04 (21) Anmeldenummer: 13709865.3 (22) Anmeldetag:  11.03.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/02(2006.01) C23C 4/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/054901 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/135638 (19.09.2013 Gazette  2013/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 13.03.2012 DE 102012102087 (71) Anmelder: Thermico GmbH & Co. KG 44263 Dortmund (DE)	(72) Erfinder: MATTHÄUS, Götz 44577 Castrop-Rauxel (DE) (74) Vertreter: Meinke, Dabringhaus und Partner GbR  Rosa-Luxemburg-Strasse 18 44141 Dortmund 44141 Dortmund (DE)