(19)

(11)

EP 2 834 860 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.02.2015  Patentblatt  2015/07 (21) Anmeldenummer: 13716186.5 (22) Anmeldetag:  13.03.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 39/22(2006.01) H01L 39/24(2006.01) C30B 29/22(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2013/000146 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2013/149607 (10.10.2013 Gazette  2013/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 04.04.2012 DE 102012006825 15.12.2012 DE 102012024607 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: FALEY, Mikhail 52428 Jülich (DE)