(19)

(11)

EP 2 844 878 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.03.2015  Patentblatt  2015/11 (21) Anmeldenummer: 13786477.3 (22) Anmeldetag:  05.11.2013

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04C 23/00(2006.01) F04C 28/02(2006.01) F04C 25/02(2006.01) F04C 28/08(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2013/073021 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2014/072276 (15.05.2014 Gazette  2014/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 09.11.2012 DE 102012220442 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: SCHILLER, Dirk 50354 Hürth (DE) SCHNEIDENBACH, Daniel 50937 Köln (DE) DREIFERT, Thomas 50171 Kerpen (DE) JANICKI, Magnus 50997 Köln (DE) (74) Vertreter: Von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patentanwälten und Rechtsanwälten mbB  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)