(19)
(11) EP 2 847 787 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.03.2015  Patentblatt  2015/12

(21) Anmeldenummer: 13715652.7

(22) Anmeldetag:  02.04.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/60(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2013/056951
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/167321 (14.11.2013 Gazette  2013/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 08.05.2012 DE 102012207652

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FRUEH, Christiane
    71636 Ludwigsburg (DE)
  • GUENTHER, Michael
    70469 Stuttgart (DE)
  • HERBOTH, Thomas
    71636 Ludwigsburg (DE)

   


(54) ZWEISTUFIGES VERFAHREN ZUM FÜGEN EINES HALBLEITERS AUF EIN SUBSTRAT MIT VERBINDUNGSMATERIAL AUF SILBERBASIS