ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESM..................*XJDIM360 Ver 1.28 (29 Oct 2014) - 1100000/02870278A120150513EP13744670.42013070220150203frfrfr125637420120703FR2015051320152020150513201520C30B 29/40 20060101AFI20140128BHEP C30B 29/60 20060101ALI20140128BHEP C30B 23/02 20060101ALI20140128BHEP H01L 29/06 20060101ALI20140128BHEP B82Y 10/00 20110101ALI20140128BHEP deSUBSTRAT MIT EINER SILICIUM- UND/ODER GERMANIUMSCHICHT UND EINEM ODER EINER VIELZAHL VON SENKRECHT ZUR OBERFLÄCHE DES SUBSTRATS AUSGERICHTETEN NANODRÄHTENenSUBSTRATE COMPRISING A LAYER OF SILICON AND/OR GERMANIUM AND ONE OR A PLURALITY OF NANOWIRES ORIENTED PERPENDICULAR TO THE SURFACE OF THE SUBSTRATEfrSUBSTRAT COMPRENANT UNE COUCHE DE SILICIUM ET/OU DE GERMANIUM ET UN OU PLUSIEURS NANOFILS D'ORIENTATION PERPENDICULAIRE A LA SURFACE DU SUBSTRATSAINT-GOBAIN RECHERCHE1005936702012078 EP0-ABS39 quai Lucien Lefranc93300 AubervilliersFRCentre National de la Recherche Scientifique1012799752012078 EP0-ABS3, rue Michel-Ange75794 Paris Cedex 16FRSONDERGARD, Elin17C Rue Camille DesmoulinsF-94230 CachanFRCOHIN, Yann64 rue de PatayF-75013 ParisFRHARMAND, Jean-Christophe34 rue de LiersF-91240 Saint Michel sur OrgeFRBaget, Astrid Marie101492818Saint-Gobain Recherche Département Propriété Industrielle 39, Quai Lucien Lefranc93300 Aubervilliers CedexFRALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEFR201305155220130702frWO201400631920140109201402