(19)
(11) EP 2 870 279 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
03.04.2014

(43) Date de publication:
13.05.2015  Bulletin  2015/20

(21) Numéro de dépôt: 13744671.2

(22) Date de dépôt:  02.07.2013
(51) Int. Cl.: 
C30B 29/40(2006.01)
C30B 23/02(2006.01)
B82Y 10/00(2011.01)
C30B 29/06(2006.01)
C30B 29/60(2006.01)
H01L 29/06(2006.01)
C30B 1/02(2006.01)
C30B 29/08(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2013/051553
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2014/006320 (09.01.2014 Gazette  2014/02)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 03.07.2012 FR 1256374

(71) Demandeurs:
  • SAINT-GOBAIN RECHERCHE
    93300 Aubervilliers (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • SONDERGARD, Elin
    F-94230 Cachan (FR)
  • COHIN, Yann
    F-75013 Paris (FR)
  • HARMAND, Jean-Christophe
    F-91240 Saint Michel sur Orge (FR)

(74) Mandataire: Baget, Astrid Marie 
Saint-Gobain Recherche Département Propriété Industrielle 39, Quai Lucien Lefranc
93300 Aubervilliers Cedex
93300 Aubervilliers Cedex (FR)

   


(54) SUBSTRAT COMPRENANT UNE COUCHE DE SILICIUM ET/OU DE GERMANIUM ET UN OU PLUSIEURS OBJETS DE FORME VARIEE