(19)

(11)

EP 2 873 093 A1

(12)

(43) Date de publication: 20.05.2015  Bulletin  2015/21 (21) Numéro de dépôt: 13736567.2 (22) Date de dépôt:  11.07.2013

(51) Int. Cl.:  H01L 21/66(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2013/064677 (87) Numéro de publication internationale: WO 2014/009470 (16.01.2014 Gazette  2014/03)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME (30) Priorité: 11.07.2012 FR 1256689 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: BEN JAMAA, Haykel F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)